반도체 소재 – URS TECH&MARKETING

반도체소재

Semiconductor solutions

필요한 솔루션과 답을
조용히 찾아드립니다.

반도체 소재 Part1 - 헤더

반도체 소재 Part1

Precursor 생산을 위한 Engineering부터 원료, Canister, LDS까지 개발 및 공급합니다.

Precursor 생산을 위한 Engineering부터
원료, Canister, LDS까지 개발 및 공급합니다.

반도체 소재 Part1 - 주요 내용

Engineering

Precursors

- Si-based: DIPAS, BDEAS, HCDS, TDMAS, DIS, BDIPADS외
- High-k: -Zr, -Hf, -Ti, -Ru, -Mo, -Srel
- Precursor 원료
- R&D 대응 (주문생산)

Canisters

- R&D 서비스
- 주문 생산

LDS

- Liquid Delivery System
- 고체 Precursor 공급 장치(데모 생산)

반도체 소재 Part1 - 주요 내용

Engineering

Precursors

- Si-based: DIPAS, BDEAS, HCDS, TDMAS, DIS, BDIPADS외
- High-k: -Zr, -Hf, -Ti, -Ru, -Mo, -Srel
- Precursor 원료
- R&D 대응 (주문생산)

Canisters

- R&D 서비스
- 주문 생산

LDS

- Liquid Delivery System
- 고체 Precursor 공급 장치(데모 생산)

반도체 소재 Part2 - 헤더

반도체 소재 Part2

반도체 소재 Part2 - 헤더

다양한 소스의 검증된 품질의
제품들을 공급합니다.

다양한 소스의 검증된 품질의 제품들을 공급합니다.

반도체 소재 Part2 - 가스류

Fluoro carbons

Hydrofluorocarbons

Etching / Cleaning Gases

Hydrocarbons

UHP Gases

대형실린더 공급, 보관 및 물류서비스

반도체 소재 Part3 - 모바일

제논, 네온, 크립톤, 헬륨 등의 희귀가스와 각종 특수 가스를 공급하고 있고, 이와 관련한 JV, 설비 공급, 신규 제품 개발 등 다양한 사업화 솔루션을 개발하고 있습니다.

반도체 소재 Part3

제논, 네온, 크립톤, 헬륨 등의 희귀가스와 각종 특수 가스를 공급하고 있고,
이와 관련한 JV, 설비 공급, 신규 제품 개발 등 다양한 사업화 솔루션을 개발하고 있습니다.